光電廠潔凈室檢驗參考報告
檢測區域 |
檢測指標 |
計量單位 |
設計級別 |
技術要求 |
檢測結果 |
結論 |
|||
邊反車間 |
懸浮粒子平均濃度 |
粒/m3 |
10000級 |
0.5um≤352000 |
24000 |
合格 |
|||
5um≤2930 |
2750 |
||||||||
風速 |
m/s |
10000級 |
≥20 |
22 |
合格 |
||||
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|
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|
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|
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|
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||||
印刷區域
|
懸浮粒子平均濃度 |
粒/m3 |
10000級 |
0.5um≤352000 |
16600 |
合格 |
|||
5um≤2930 |
1045 |
||||||||
風速 |
次/小時 |
10000級 |
≥20 |
40 |
合格 |
||||
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
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||||
檢驗區域 |
懸浮粒子平均濃度 |
粒/m3 |
10000級 |
0.5um≤352000 |
50000 |
合格 |
|||
5um≤2930 |
883 |
||||||||
風速 |
次/小時 |
10000級 |
≥20 |
40 |
合格 |
||||
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
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||||
包裝區域 |
懸浮粒子平均濃度 |
粒/m3 |
10000級 |
0.5um≤352000 |
25088 |
合格 |
|||
5um≤2930 |
706 |
||||||||
風速 |
次/小時 |
10000級 |
≥20 |
40 |
合格 |
||||
|
|
|
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|
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||||
檢測結論:符合規范要求。
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檢測人 |
|
檢測日期 |
2015年5月2日 |
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檢測區域 |
檢測指標 |
計量單位 |
設計級別 |
技術要求 |
檢測結果 |
結論 |
|||
更衣緩沖 |
懸浮粒子平均濃度 |
粒/m3 |
100000級 |
0.5um≤3520000 |
369964 |
合格 |
|||
5um≤29300 |
11542 |
||||||||
風速 |
m/s |
100000級 |
≥15 |
18 |
合格 |
||||
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||||
|
|
|
|
|
|
||||
油墨室
|
懸浮粒子平均濃度 |
粒/m3 |
100000級 |
0.5um≤3520000 |
1839458 |
合格 |
|||
5um≤29300 |
5948 |
||||||||
風速 |
次/小時 |
100000級 |
≥15 |
18 |
合格 |
||||
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
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||||
光檢測區域 |
懸浮粒子平均濃度 |
粒/m3 |
100000級 |
0.5um≤3520000 |
1839458 |
合格 |
|||
5um≤29300 |
5948 |
||||||||
風速 |
次/小時 |
100000級 |
≥15 |
18 |
合格 |
||||
|
|
|
|
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||||
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|
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||||
檢測結論:符合規范要求。 |
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檢測人 |
|
檢測日期 |
2015年5月2日 |
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